IT之家11月30日信息据北京商报，位于北京经开区的北京京仪主动化配备技能有限公司（以下简称 “京仪配备”）自助研发出了高速集成电道成立晶圆倒片机，每小时 300 片以上的倒片速率目标达邦际优秀程度，成为邦内开创的高速集成电道成立晶圆倒片机，可用于 14 纳米集成电道成立，冲破了邦际垄断。

　　IT之家认识到，京仪配备客岁 12 月也研发出了邦内首台晶圆主动翻转倒片机，从此颁发我邦冲破该系列摆设的邦产化困难。

　　晶圆倒片机是用来安排集成电道产线上晶圆出产原料序列场所的一款摆设，它的职责是将产线上的晶圆通过制程必要举行分批、归并、翻转后举行下一道步伐，这就条件晶圆倒片机具有极高的传送效能和清洁水准。

　　京仪配备副总司理周亮称，这款高速集成电道成立晶圆倒片机正在倒片手臂上的晶圆接触点方面，与以往行业内普通操纵的高速倒片真空装备差别，始末研发试验，采用操纵了特种原料，从而避免了真空装备任务中易发生颗粒物吸附的题目，可操纵正在 14 纳米集成电道产物以及更高制程的高净化条件境况中。

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