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公司新闻10帮+1翻转机械动图1帮+13帮

发布时间:2024-12-04 20:00

  金融界2024年10月17日动静,邦度学问产权局讯息显示,新启航半导体有限公司博得一项名为“一种晶圆翻起色构”的专利,授权告示号CN 221841822 U,申请日期为2023年12月。

  专利摘要显示,本适用新型公然了一种晶圆翻起色构,属于半导体修制技能范畴,搜罗支持底座;所述支持底座上装置有效于对晶圆举办校准摆放的地方校准组件;所述地方校准组件上装置有效于对晶圆举办夹持后翻转的扭转夹持组件;所述扭转夹持组件搜罗第二伺服电机、转台、辅助夹持组件和转移组件;第二伺服电机固定贯穿正在支持底座的后端,转台的后端与支持底座转动贯穿,第二伺服电机的输出端与转台固定贯穿,辅助夹持组件与转台固定贯穿,转移组件与辅助夹持组件固定贯穿。通过上述办法,本适用新型能够夹持分歧尺寸的晶圆举办翻转。

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